プラズマ研究会
〔委 員 長〕桂井 誠（東 大)
〔副委員長〕小野 茂（武蔵工大)
〔幹 事〕菅井秀郎（名古屋大），安岡康一（東工大)
〔幹事補佐〕板垣敏文（東 大)
日 時 3月7日 (木) 13：00～18：00
3月8日 (金) 9：00～12：20
場 所 琉球大学・工学部3号館3階303会議室（沖縄県中頭群西原町字千原1番地，Tel （098）895-2221，交通手段(１)那覇空港から：高速バス111番，113番，123番で約40分「琉大入口」下車，高速道路から階段を上がり左手の高速道路を跨いでいる橋を渡り道なりに坂を上がると北口守衛所着。(２)那覇バスターミナルから：前記高速バス又は97番，98番琉大北口行で約50分，終点下車，上記北口守衛所着。なお，場所の詳細は，次のURLをご参照下さい。http://www.u-ryukyu.ac.jp/)
協 賛 The Japan Chapter on the IEEE Nuclear and Plasma Science Society/Plasma
議 題 テーマ「プラズマ一般」
3月7日 (木) 13：00～18：00
PST-02-1 共鳴吸収のPIC-MCCシミュレーション
小見山文行，卜部友二，菊池貴仁，小越澄雄（東京理科大)
PST-02-2 ECRプラズマ支援DCマグネトロンスパッタ装置の開発
米須 章，佐藤升一，大橋要介，山城康正（琉球大)
PST-02-3 導波管モードにおける誘電体窓を用いた電子密度制御
高橋良尚，野村 実，小越澄雄（東京理科大)
PST-02-4 水素添加ヘリウム誘導結合プラズマの分光分析化学特性の評価
宮原秀一，藪田泰伸，渡辺正人，沖野晃俊，堀田栄喜（東工大)
PST-02-5 TS-4装置におけるコンパクトトーラスプラズマのレーザ計測
佐藤慶介，村田幸弘，鶴田繭子，小野 靖，桂井 誠（東 大)
PST-02-6 TS-4装置における同極性・異極性合体の比較
鶴田繭子，村田幸弘，佐藤慶介，山野上登志子，有本克行，小野 靖，桂井 誠（東 大)
PST-02-7 スパイラルアンテナを用いたm＝0,1ヘリコン波放電プラズマ
ト部友二，小越澄雄（東京理科大)
PST-02-8 容量結合型高周波放電におけるプラズマパラメーターの周波数依存性
菊池貴仁，小越澄雄（東京理科大)
PST-02-9 ホロープラズマカソードによるパルス体積放電の制御
増田敏之，山野井 隆，前田耕策，安岡康一，石井彰三（東工大)
PST-02-10 レーザ生成プラズマを用いた高エネルギ電子源
小山和義，三浦永祐，齋藤直昭，谷本充司（産総研)
PST-02-11 大気圧高周波放電による非平衡プラズマの解析
中野 哲，桂井 誠（東 大)
PST-02-12 Removal of SOx from combustion flue gases by the quadru-pole corona ammonia radical shower non-thermal plasma system
K. Urashima and J.S. Chang（McMaster University)，W. Wang, X. Tong, W.P. Liu（SEPRI, Environmental Protection General Agency)
PST-02-13 直流駆動マイクロホローカソード放電を用いた高効率オゾナイザの研究
渡辺英聡，遠藤康信，倉林賢慶，安岡康一，石井彰三（東工大)
PST-02-14 大気圧プラズマの応用
中川孝司，小野寺玲香，秋津哲也（山梨大)
3月8日 (金) 9：00～12：20
PST-02-15 パルス大電力動作時の半導体パワーデバイスに与える磁界の効果
青木 喬，松本康寛，田村幸彦，井深真治，安岡康一，石井彰三（東工大)
PST-02-16 SIサイリスタによる低圧電源からの極幅狭高電圧パルス発生回路
飯田克二，佐久間 健，波多野達彦（日本ガイシ)
PST-02-17 Investigations of the surge response of a vertical conductor
Md. Osman Goni，潘 鉄成，高橋秀臣（琉球大)
PST-02-18 二酸化チタン成膜時の基板温度特性の測定
池澤俊治郎，Halida Homyara，梅野正義（中部大)，吉村和記（産総研)，原 民夫（豊田工大)，峠田博史（産総研)
PST-02-19 パルスイオンビーム蒸着法を用いたPZT薄膜の作製とRBS，XPS分析による組成評価
曽根川富博，新垣利喜，金城綾子，前濱剛廣（琉球大)，江 偉華，八井 浄（長岡技科大)
PST-02-20 磁気リコネクションによる非平衡プラズマの制御手法に関する検証
村田幸弘，小野 靖（東 大)
PST-02-21 有限要素法（FEM）による表面波プラズマ解析へのPML境界の適用
馬場清英，Shamim Ahmad，池澤俊治郎（中部大)
PST-02-22 平板型表面波プラズマ装置における放電特性のガス依存性に関する研究
鳥羽孝幸，桂井 誠（東 大)
PST-02-23 Hydrogen plasma characteristics
in a ring dielectric line surface wave processing
plasma apparatus for chemical vapor deposition
of diamond films
金 載浩，高石健二，板垣敏文，桂井 誠（東 大)
PST-02-24 Surface coating by combining double-pulse
plasma with plasma-based ion implantation
作道訓之，水谷大吾，吉田雅人，油谷真敏，（金沢工大）
粟津 薫，安井治之（石川県工業試験所）
＊3月7日(木)研究会終了後に懇親会，3月8日(金)研究会終了後に見学会を実施予定です。奮ってご参加ください。
〔委 員 長〕桂井 誠（東 大)
〔副委員長〕小野 茂（武蔵工大)
〔幹 事〕菅井秀郎（名 大），安岡康一（東工大)
〔幹事補佐〕板垣敏文（東 大)
日 時 4月26日 (金) 9：00～17：45
4月27日 (土) 9：00～17：20
場 所 静岡大学浜松キャンパス内，佐鳴会館会議室（浜松市城北3-5-1，JR浜松駅北口前のバスターミナル⑮，⑯番乗り場から出る遠鉄バスで，「文丘まわり」を除く全路線が可，所要時間はおよそ20分で「静岡大学前」で下車，
共 催 電気学会 東海支部（支部長 高村秀一)
協 賛 The Japan Chapter on the IEEE Nuclear and Plasma Science Society/Plasma
電気学会 マイクロ波プラズマ調査専門委員会（委員長 菅井秀郎，幹事 神崎正士，永津雅章，幹事補佐 吉田善一)
議 題 テーマ「高周波及びマイクロ波プラズマの生成と応用」
4月26日 (金) 9：00～17：45
PST-02-25 テラヘルツ波によるプラズマの電子密度分布測定
加藤 尚，水野保則，犬塚 博（静岡大)
PST-02-26 マイクロ波反射計におけるデータ解析へのWigner分布の適用
阿部好浩，佐竹顕知，忠内 康，水野保則，犬塚 博（静岡大)
PST-02-27 大型ヘリカル実験装置におけるECHシステムとプラズマ加熱実験
出射 浩，久保 伸，下妻 隆，吉村泰夫（核融合科学研)，野竹孝志（名 大)
小林策治，伊藤 哲，水野嘉識，多喜田泰幸，大久保邦三（核融合科学研)
PST-02-28 LSI微細加工プロセスへのUHF-ECRプラズマ応用(２)
板橋直志，森 政士，小藤直行，伊澤 勝，田地新一（日 立)
PST-02-29 PWMマイクロ波電源による表面波励起
秋津哲也，中川孝司，日原 誠（山梨大)
PST-02-30 非共鳴マイクロ波イオン源とその工業応用
作道訓之（金沢工大)
PST-02-31 Measurement of electron density and temperature in a reactor with remote microwave plasma
L. Sirghi (Shizuoka Univ.)，G. Popa (Al. I. Cuza Univ.)，Y. Hatanaka, M. Kando（Shizuoka Univ.)
PST-02-32 高密度マイクロ波による微結晶シリコン形成における水素希釈の役割
白井 肇，大川原 豪，中島正敦（埼玉大)
PST-02-33 表面波励起H2/SiH4プラズマを用いたシリコン薄膜の高速堆積
豊田浩孝，大石晃宏，宗宮 暁，菅井秀郎（名 大)
PST-02-34 表面波励起による酸素をふくむプラズマの生成と制御
的場久幸，石島達夫，菅井秀郎（名 大)
PST-02-35 金属添加による表面波プラズマ生成カーボン系薄膜の電気伝導性への影響
栗田真吾，永津雅章（静岡大)，菅井秀郎（名 大)
PST-02-36 マイクロ波プラズマによる微細構造炭素の成長
八田章光，石元啓一，鐵艸浩彰，川越伸一，富士敬司，吉村紘明（高知工大)
PST-02-37 Diamond film deposition and plasma characteristics in a surface wave plasma CVD apparatus
金 載浩，板垣敏文，桂井 誠（東 大)
PST-02-38 FDTD法によるダイヤモンド成膜用マイクロ波プラズマ装置の電磁界解析と装置設計への応用
前田 隼，永津雅章（静岡大)牧野雅哉，菅井秀郎（名 大)，丹花通文（東洋鋼鈑)
PST-02-39 1サイクル正弦高周波パルスにより生成したアンモニアラジカルインジェクションNOx処理における酸素の効果
長尾一聖，山本 極，行村 建（同志社大)，神原信志（出光興産)，丸山敏朗（京都大)
PST-02-40 陰極アークプラズマイオン注入におけるパイプ内面窒化チタン成膜におけるイオン電流
行村 建（同志社大），池畑 隆（茨城大)，馬 欣新，久世英司（同志社大)
PST-02-41 プラズマイオン注入におけるトレンチ形状基材のシース形成と底部イオン電流増強効果
池畑 隆，荒木俊也，島津賢二，塩谷健一，佐藤直幸（茨城大)，行村 建（同志社大)
PST-02-42 プラズマイオン注入用並列真空管モジュレータの開発
行村 建（同志社大），松永浩一（ハイデン研究所)
4月27日 (土) 9：00～17：20
PST-02-43 回転高周波電磁場生成弱磁化プラズマの特性
佐藤玄太，大原 渡，石田裕泰，畠山力三（東北大)
PST-02-44 Characteristics of high pressure radio frequency inductively coupled plasma
M.A. Razzak，近藤健二，上杉喜彦，高村秀一（名 大)
PST-02-45 高周波誘導熱プラズマ中の電磁場計測
近藤健二，M.A. Razzak,，上杉喜彦，高村秀一（名 大)
PST-02-46 微量元素分析用大気圧ヘリウム誘導結合プラズマの旋回特性
藪田泰伸，宮原秀一，渡辺正人，沖野晃俊，堀田栄喜（東工大)
PST-02-47 マイクロ波重畳ブレークダウン法による大気組成成分の計測
芳賀俊雄，須藤洋志，賀川幹夫，飯沼恒一，内田俊介（東北大)
PST-02-48 大気圧マイクロ波放電プラズマの生成実験
志村和哉，小野 茂，堤井信力（武蔵工大)
PST-02-49 Probe Diagnostics of Helium Microwave Discharge Plasma in Atmospheric Pressure
Mamunur Rashid Talukder（静岡大)，Dariusz Korzec（ヴッペルタール大)，神藤正士（静岡大)
PST-02-50 多孔平行平板型プラズマ
源吉田善一（東洋大)
PST-02-51 高誘電率導入窓によるマイクロ波酸素プラズマの軸方向分布
進藤春雄，古澤健司，河合 慈，熊谷壮裕，品川啓介（東海大)，古川雅一，河村勝文（キヤノン販売)
PST-02-52 円型表面波プラズマ装置の表面波固有モードに関する数値解析
中川貴嗣，金 載浩，桂井 誠（東 大)
PST-02-53 縦長表面波プラズマ装置におけるプラズマ生成に関する基礎実験及び数値解析
鳥羽孝幸，桂井 誠（東 大)
PST-02-54 表面波プラズマ生成における窓表面の周期的凹凸の効果
山内健資，近藤弘康（東 芝)，Abdel Fattah Essam（名 大)，加納正明（東 芝），菅井秀郎（名 大)
PST-02-55 Numerical investigation of the corrugation effect on surface wave excitation
Abdel Fattah Essam（名 大），山内健資（東 芝)，河合 啓，菅井秀郎（名 大)
PST-02-56 共鳴吸収における高エネルギー電子生成機構の研究
卜部友二，小宮山文行，小越澄雄（東京理大)
PST-02-57 スロットアンテナ励起表面波プラズマにおける静電揺動の空間分解計測
永津雅章，栗田真吾，神藤正士（静岡大)，丹羽隆彦，菅井秀郎（名 大)
PST-02-58 Influence of plasma instabilities on light emission in surface-wave discharges
Terebessy Tibor（静岡大)，Yuri M. Aliev（レベデフ物理研究所)，神藤正士（静岡大)
PST-02-59 太陽エネルギー利用熱電子発電器の発電特性
荻野明久，村松俊哉，彦坂郁夫，神藤正士（静岡大)
＊4月26日 (金) 研究会終了後，懇親会（会費：約3,000円）を行う予定です。奮ってご参加下さい。
＊宿泊案内
1) 学生優先：浜松キャンパス内の宿泊施設（約2,000円/1泊）。先着15名，申込先：静岡大学工学部 電気・電子工学科 神藤正士
(e-mail: temkand＠ipc.shizuoka.ac.jp, Tel&Fax: 053-478-1082)
2) 一般向け：サゴーホテル（Tel: 053-452-1181)，シングル6,615円（朝食，税・サービス込)