フィジカルセンサ研究会
〔委 員 長〕羽根一博（東北大)
〔幹 事〕大塚義則（デンソー），鳥井昭宏（愛知工大)
〔幹事補佐〕佐々木 実（東北大)
日 時 11月21日（水）14：30〜15：50
11月22日（木）10：00〜15：50
議 題 テーマ「フィジカルセンサ一般」
11月22日（木）10：00〜11：00
座 長 池田恭一（東京農工大)
PHS-01-1 薄膜流量センサーの開発
井上眞一，友成健二，川西利明，山岸喜代志（三井金属鉱業)
PHS-01-2 灯油流量計
平泉健一，小池 淳，山岸喜代志（三井金属鉱業)
PHS-01-3 スピントンネル素子の磁気キャパシタンス効果
海住英生，藤田滋雄，両角 武，椎木一夫（慶応大)
11月22日（木）11：00〜12：00
座 長 前中一介（姫路工大)
PHS-01-4 高温超伝導体厚膜を用いる高感度磁気センサについて
山形一斗，伊藤峯雄（近畿大)
PHS-01-5 サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性
金森義明，石杜昌弘，佐々木 実，羽根一博（東北大)
PHS-01-6 Siエピタキシャル膜を利用した干渉計用薄膜光検出器
ミイ暁宇，佐々木 実，羽根一博（東北大)
11月22日（木）13：20〜14：20
座 長 石田 誠（豊橋技科大)
PHS-01-7 対流熱伝達による3軸マイクロ加速度センサに関する基礎研究
伊藤裕貴，渡辺 勝，佐藤大祐，飯田 靖，池田恭一（東京農工大)
PHS-01-8 変位拡大機構による半導体マイクロ圧力スイッチ
水野健太朗，藤塚徳夫，塚田厚志，大村義輝（豊田中研)
PHS-01-9 マイクロコイルの試作とその電力伝送への応用
八幡直樹，前中一介，藤田孝之，高山洋一郎（姫路工大)
11月22日（木）14：30〜15：50
座 長 羽根一博（東北大)
PHS-01-10 シリコンマイクロマシニング技術を用いた45°ミラーの研究
角 篤司，松本佳宣（慶応大)
PHS-01-11 ポリシリコンヒーターを用いた局所接合技術の研究
杉浦正則，渡邊俊輔，飯田 靖，池田恭一（東京農工大)
PHS-01-12 高分子材料をメンブレンとしたX線マスクの試作と評価
井奥 淳，岩本俊介，池野泰弘，藤田孝之，前中一介，内海裕一，服部 正，高山洋一郎（姫路工大)
PHS-01-13 耐高温環境センサにむけた高精度CMOS演算増幅回路の形成と評価
高尾英邦，伊奈史恵，堂坂利彰，澤田和明，石田 誠（豊橋技科大)
11月21日（水）14：30〜15：50
座 長 安達 洋（室蘭工大)
PHS-01-14 Triclops（3眼ステレオビジョン）を用いた室内走行のための障害物検出システム
笠谷岳士，山浦冨雄（東京工科大)，桑島茂純（ビュープラス)
PHS-01-15 車椅子レース用フライングスタート検出方法
横倉三郎，田沼伸久，野崎忠信（明星大)，梶原洋子（文教大），鷹野致和（明星大)
PHS-01-16 熱ルミネッセンス測定による重粒子線モニタリング
中川益生（岡山理科大），岩田和郎（奈良県立医科大)，山本 勲，神田正俊（岡山理科大)
PHS-01-17 高周波キャリア型薄膜磁界センサによるEMC計測
山口正洋，菊池弘昭，杉本聡志（東北大)，鈴木和彦（東北学院大），荒井賢一（東北大)，菊地新喜（東北学院大)，岩波瑞樹，中村 篤，星野茂樹（超先端電子技術開発機構)
〔委 員 長〕羽根一博（東北大)
〔幹 事〕大塚義則（デンソー），鳥井昭宏（愛知工大)
〔幹事補佐〕佐々木 実（東北大)
日 時 12月14日 (水) 14：00〜17：00
協 賛 電気学会機能性材料・プロセス技術調査専門委員会（委員長
鈴木義彦，幹事 澤田和明，堤 和彦，野田 実，幹事補佐
村上修一)
議 題 テーマ「機能性材料・プロセス」
PHS-01-18 PLD法によるAgTa0.38Nb0.62O3強誘電体薄膜のエピタキシャル成長と結晶評価
渋谷 明（大阪大)，Jung-Hyuk Koh，Alex Grishin（KTH/Sweden)，奥山雅則（大阪大)
PHS-01-19 シリコン/ガラス構造におけるDeep-RIEプロセスの開発
吉田幸久，熊谷宗人，焦 継偉，堤 和彦（三菱電機)
PHS-01-20 付着を低減した新しいプロセスによるNiカンチレバーの作製とその機械特性
古賀浩司，川田博昭，安田雅昭，村田顕二（大阪大)
PHS-01-21 Cr-O薄膜を用いた高温動作型圧力センサの開発
吉竹正明，鈴木義彦，野坂俊紀（大阪府立産技研)，竹中 宏（日本リニアックス)
PHS-01-22 p-MOS検出機構を用いたCMOSスマート3軸加速度センサのCMOS微細化による特性改善
高尾英邦（豊橋技科大），福本博文（旭化成)，澤田和明，石田 誠（豊橋技科大)