〔委 員 長〕羽根一博（東北大)
〔幹 事〕大塚義則（デンソー），鳥井昭宏（愛知工大)
〔幹事補佐〕佐々木実（東北大）
日 時 9月13日（水）9：00〜12：10
場 所 工学院大学新宿校舎0652教室
共 催 電気学会東京支部（支部長 松瀬貢規)
協 賛 三次元マイクロ物理センサ・システム調査専門委員会（委員長
佐藤洋一，幹事 木村光照，幹事補佐 高橋幸郎)
議 題 テーマ「マイクロ物理センサ・システム一般」
9：00〜10：30
PHS-00-1 シリコンマイクロマシーニングによる超小型熱分析センサの検討
古谷充宏，藤原茂美，木村光照（東北学院大）
PHS-00-2 MOSFET型トランジスタサーミスタの特性評価
後藤 靖，指田孝男（山形チノー），木村光照（東北学院大）
PHS-00-3 サイドエアバッグ用セーフィングセンサ
松永忠雄（曙ブレーキ），江刺正喜（東北大）
10：40〜12：10
PHS-00-4 白金薄膜の成膜と薄膜測温素子の作製について
三橋雅彦，大屋誠志郎（神奈川県産業総合技研），篠原小太郎（テクノセブン）
PHS-00-5 携帯型フーリエ変換分光分析器のためのプリズム走査型干渉計
清倉孝規，伊藤高廣，澤田廉士（NTT）
PHS-00-6 ファイバ側面の微細加工による光部品の製作
下田洋樹，佐々木実，羽根一博（東北大）
〔委 員 長〕羽根一博（東北大)
〔幹 事〕大塚義則（デンソー），鳥井昭宏（愛知工大)
〔幹事補佐〕佐々木実（東北大）
日 時 9月22日（金）13：30〜17：00
場 所 山形大学工学部ベンチャービジネスラボラトリー3階（セミナーホール）（山形県米沢市城南4-3-16，JR山形新幹線で米沢駅下車，タクシー（所要時間約10分），連絡先：松下浩一，Tel
0238-26-3281，E-mail: matsu@eie.yz.yamagata-u.ac.jp)
協 賛 マイクロセンサとそのプロセス技術調査専門委員会（委員長
安達 洋，幹事 毛塚博史，関村雅之)
議 題 テーマ「マイクロセンサ，センサ材料，一般」
PHS-00-7 シリコンバイメタルを使った熱駆動型マイクロリレー
友成惠昭，John Piccinic，吉田 仁，荻原 淳，長尾修一，齊藤公昭，川人圭子，河田裕志（松下電工）
PHS-00-8 医療用X線フラットパネルセンサの原理と応用
森下正和（キャノン）
PHS-00-9 光導波路構造のSPRセンサ
上野武司，加沢エリト，佐々木智憲，吉田裕道（都立産技研）
PHS-00-10 高温超伝導サンプラー電流波形計測装置によるGHz帯正弦波の観察
日高睦夫，安道徳昭，佐藤哲朗，田原修一（NEC）
PHS-00-11 Nd系超伝導体のセンサ材料へ向けての特性改善
畑山省司（東京工科大），小早志秀一（同和鉱業），吉澤秀二（明星大），毛塚博史，山浦富雄（東京工科大）
PHS-00-12 セキュリティ用超伝導マイクロ波センサの設計・試作・評価佐
藤和明，江畑克史，関谷尚人，大嶋重利（山形大），鈴木雄一郎，金尾憲一（住友重機械）
PHS-00-13 発光によって水素を検知する有機EL素子の高輝度化
香川卓也，奥山澄雄，奥山克郎，長沼 博，松下浩一，城戸淳二（山形大）
PHS-00-14 PdAg/Glass梁型水素ガスセンサの特性改善
奥山澄雄，水戸部勇一，本田貴則，奥山克郎，松下浩一（山形大）
フィジカルセンサ研究会
〔委 員 長〕羽根一博（東北大)
〔幹 事〕大塚義則（デンソー），鳥井昭宏（愛知工大)
〔幹事補佐〕佐々木実（東北大）
日 時 12月20日
(水) 10：00〜17：00
場 所 東京工業大学大岡山キャンパスB会場（南2号館2F S-222室)
議 題 テーマ「フィジカルセンサ一般」
12月20日 (水)
10：00〜12：00
座 長 佐藤洋一（東海大）
PHS-00-15 シリコンジュール発熱効果の各種センサへの応用
横山雄一（早稲田大）
PHS-00-16 SOI基板上マイクロヒータを用いた超小型熱分析センサ
古谷充宏，藤原茂美，木村光照（東北学院大）
PHS-00-17 二重注入型半導体ダイオード磁気センサ
武山洋士，木村光照（東北学院大)
大槻 隆，武田光之，池田義秋（トーキン）
PHS-00-18 カーボンナノチューブの選択成長と走査型プローブ顕微鏡深針成作
宮下英俊，小野崇人，江刺正喜（東北大）
PHS-00-19 温度・歪の同時計測触覚センサ用Fe-Pd感温薄膜およびCr-N感歪薄膜
佐々木祥弘（みやぎ産業振興機構)
丹羽英二（電磁材料研，みやぎ産業振興機構)
本間基文（東北職能開発大），増本 剛（電磁材料研）
PHS-00-20 2層構造薄膜抵抗体による痛覚温度閾値測定センサ
中村和浩（東北大ベンチャービジネスラボ)
江刺正喜（東北大未来科学研)，水谷好成（宮城教育大)
山本光璋（東北大）
12月20日 (水)
13：30〜14：50
座 長 木村光照（東北学院大）
PHS-00-21 PZT薄膜を用いたリングアレイ型超音波マイクロセンサ
堅田広司，山下 馨，奥山雅則（大阪大)
三好弘己，加藤元郎，青柳誠司（関西大)
鈴木義彦（大阪府立産総研）
PHS-00-22 Highly
Oriented PZT Films Prepared by Multi-Step Process and Its Applications to
Ultrasonic Sensors
T.アーポン（大阪府立産総研）三好弘己（関西大)
山下 馨（大阪大)，田中恒久（大阪府立産総研)
青柳誠司（関西大)，鈴木義彦（大阪府立産総研)
奥山雅則（大阪大），井上幸二（大阪府立産総研）
PHS-00-23 シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
李 以貴，佐々木実，羽根一博（東北大）
PHS-00-24 水熱法PZT薄膜を用いた加振形プローブセンサ
神田岳文（東 大），森田 剛（理 研)
黒澤 実（東工大），樋口俊郎（東 大）
12月20日 (水)
15：00〜17：00
座 長 高橋幸郎（埼玉大）
PHS-00-25 マイクロガスジャイロの開発のための基磁研究
伊藤裕貢，飯田 靖，古賀久友，池田恭一，八藤後四郎（東京農工大）
PHS-00-26 フッ硝酸選択エッチングを用いたスティッキング防止処理
藤塚徳夫（豊田中研），橋本雅人（トヨタ自動車），坂田二郎（豊田中研）
PHS-00-27 マイクロスイッチの微小接点特性勅使
河原明彦，服部孝司，竹内幸裕，大塚義則（デンソー）
PHS-00-28 レーザー・スクイド顕微鏡による磁場の画像化
大坊真洋（岩手県工技センター)
小高 正（アオバサイエンス），志子田有光（岩手医科大）
PHS-00-29 投影型エンコーダの集積化に関する研究
遠藤哲生，佐々木実（東北大）
伊藤善規（ハーモニッグ・ドライブ・システムズ），羽根一博（東北大）
PHS-00-30 レーザ応用の高精度トルク計測技術の開発
黒田英彦，佐藤道雄，兼本 茂，榊田 均，山下達雄（東 芝)
梅沢修一，帯川 元（東京電力），齊藤育夫（東 芝）