〔委 員 長〕佐藤一雄（名古屋大）
〔副委員長〕安藤 繁（東 大）
〔幹 事〕式田光宏（名古屋大）
〔幹事補佐〕小西 聡（立命館大），篠田裕之（東京農工大）
日 時 平成12年7月18日（火）13：30〜16：30
場 所 東京大学生産技術研究所第2会議室（東京都港区六本木7-22-1，地下鉄千代田線乃木坂駅下車，詳細はhttp://www.iis.u-tokyo.ac.jp/をご参照下さい）
協 賛 光マイクロマシン協同研究委員会（委員長
澤田廉士，幹事 佐々木実，年吉 洋)
議 題 テーマ「光マイクロマシン」
MSS-00-1 光センサおよび光駆動アクチュエータのマイクロファクトリへの応用
遠山 修，前田重雄，阿部一博，村山 学（三菱電線）
MSS-00-2 マイクロマシンによるファブリペロー型波長可変フィルタの作製と光ファイバへの結合
大島 聡，三田吉郎，Agnes Tixier，Jean-Philippe
Gouy，藤田博之（東 大）
MSS-00-3 高周波超音波音場測定のための光ファイバ微小プローブの試作
中村健太郎，二村浩司（東工大）
MSS-00-4 2波長フィルタとSiボロメータを組み合わせた二酸化炭素濃度検出
原 仁，岸 直輝（横河電機）
MSS-00-5 透過型フォトダイオードの開発と光計測
佐々木実，羽根一博（東北大）
MSS-00-6 高次の回折光を利用した超高精度マイクロエンコーダ
日暮栄治，澤田廉士（NTT）
〔委 員 長〕佐藤一雄（名古屋大)
〔副委員長〕安藤 繁（東 大)
〔幹 事〕式田光宏（名古屋大)
〔幹事補佐〕小西 聡（立命館大），篠田裕之（東京農工大）
日 時 9月13日（水）13：00〜14：45
場 所 工学院大学新宿校舎0514教室
共 催 電気学会東京支部（支部長 松瀬貢規)
議 題 テーマ「マイクロマシン・センサシステム一般」
MSS-00-7 単結晶シリコンの引張強度評価のRound
Robin Test―試験片作製プロセスの開発―
土屋智由，坂田二郎（豊田中研），式田光宏，佐藤一雄（名古屋大），小川博文（機械技研）
MSS-00-8 静電インパクト型マイクロアクチュエータの製作と駆動
荒井 誠，三田 信（東 大），天坂祥一，小林 大（東京電機大），藤田博之（東 大）
MSS-00-9 静電ワブルモータの解析とディープRIEによる製作
薗部 忠（並木精密宝石），三田 信，藤田博之（東 大）
MSS-00-10 メンフクロウをモデルとした音源定位システム
小野順貴，安藤 繁（東 大）
マイクロマシン・センサシステム研究会
〔委 員 長〕佐藤一雄（名 大)
〔副委員長〕安藤 繁（東 大)
〔幹 事〕式田光宏（名 大)
〔幹事補佐〕小西 聡（立命館大），篠田裕之（東京農工大）
日 時 12月19日
(火) 10：00〜17：30
12月20日
(水) 10：00〜16：00
場 所 東京工業大学大岡山キャンパスA会場（南2号館2F S-221室)
議 題 テーマ「マイクロマシン・センサシステム一般」
12月19日 (火)
10：00〜11：40
座 長 澤田廉士（NTT）
MSS-00-11 基板加振式プラズマエッチング装置
廣沢 稔，早瀬仁則，初澤 毅（東工大）
MSS-00-12 マイクロ発電システム泉田州彦，豊田直樹，吉村真人，武中朋彦，
室井雄達，池田恭一（東京農工大）
MSS-00-13 強度分布制御によるSR3次元加工の検討
銘苅春隆，内海裕一，服部 正（姫路工大）
MSS-00-14 単結晶シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作と特性評価
谷本靖忠，鳥山寿之，杉本 進（立命館大）
MSS-00-15 n型β-SiCのピエゾ抵抗効果の電子輸送と変形ポテンシャル理論に基づく解析
鳥山寿之，杉本 進（立命館大）
12月19日 (火)
14：40〜16：00
座 長 小西 聡（立命館大）
MSS-00-16 Si基板上PZTエピタキシャル薄膜の形成
田中克彦，李効民，櫻井 敦，南川忠洋，坂部行雄（村田製作所）
MSS-00-17 光ファイバの微細加工とファイバ型デバイスへの応用
熊崎裕教，山田佳寿，稲葉成基（岐阜高専），羽根一博（東北大）
MSS-00-18 MICSによる高速OpAmpライブラリの設計とその応用
足森洋平，前田耕平，牛尾浩司，前中一介，松田哲郎（姫路工大）
MSS-00-19 インクジェットプリンティング技術による金属微細構造の製作
味波 勲，木村幸恵，小西 聡（立命館大）
12月19日 (火)
16：10〜17：30
座 長 式田光宏（名 大）
MSS-00-20 マイクロアレイ超音波センサ用BBD半導体集積回路の開発
有田 滋（大阪府研究開発企業振興財団)
若生綾子，青柳誠司（関西大)
土谷 明，田中恒久，井上幸二，鈴木義彦（大阪府立産総研)
山下 馨，奥山雅則（大阪大）
MSS-00-21 マイクロプロセスによる高密度実装マイクロコネクタの製作
横山好彦，M.M.I. Bhuiyan，海野敏典，鳥山寿之，杉山 進（立命館大）
MSS-00-22 伸縮特性可制御フィルムデバイスに関する研究
小西 聡，カズンピエール，新井和繁，川村貞夫，杉山 進（立命館大）
MSS-00-23 インチワーム型リニアアクチュエータに関する研究
澤井拓彦，カズンピエール，小西 聡（立命館大）
12月20日 (水)
10：00〜12：00
座 長 佐藤一雄（名 大）
MSS-00-24 スパッタリングと加熱によるSiO2微細はりの曲げ形状の作製
小口寿明，早瀬仁則，初澤 毅（東工大）
MSS-00-25 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応焼結成形法の研究（第2報）
杉山真也，田中秀治，李 敬鋒，渡辺龍三，江刺正喜（東北大）
MSS-00-26 LSI検査用シリコンプローブの加工プロセス
金丸昌敏，河野竜治，遠藤喜重，細金 敦（日 立）
MSS-00-27 磁性膜を用いたマイクロスイッチの製作
有馬尚邦，中原延浩，重見英理子，佐藤洋一（東海大学短期大)
小林達郎，横山和也（沖センサデバイス）
MSS-00-28 電磁力で駆動する45度可動マイクロミラーの製作と実験
Yunho Jang, Yong-Kweon Kim（Seoul National
University）
MSS-00-29 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
三浦宏介，佐々木実（東北大)
南 和幸（山口大），羽根一博（東北大）
12月20日 (水)
13：30〜14：50
座 長 杉山 進（立命館大）
MSS-00-30 ピギーバックアクチュエータのマイクロ加工と制御
飯塚哲彦，大場寿彦，藤田博之（東 大）
MSS-00-31 陽極接合を用いるマイクロXY-ステイジの設計と製作
CHE-HEUNG Kim，Yang-Kweon Kim（Seoul National
University）
MSS-00-32 GND電流による櫛形アクチュエータの周波数特性の測定
高橋良和（日本アイ・ビー・エム）
MSS-00-33 マイクロマシンの微小トルク評価
尾上 寧，菊地長保（横河電機）
12月20日 (水)
15：00〜16：00
座 長 服部 正（姫工大）
MSS-00-34 A
Miniature Array-type Gas Sensing System
莫 要武（中国上海大），大川裕蔵（大阪府立産総研)
四島基史（クボタ），中井健人（ネーチキ)
吉池信幸（松下電器），夏川一輝（大阪府立産総研）
MSS-00-35 走査型プローブ顕微鏡技術による，ナノ・マニピュレーション
平原清隆，橋本秀紀（東 大）
MSS-00-36 時間相関イメージセンサを用いたスペクトルマッチング型物体検出システム
来海 暁，安藤 繁（東 大）
MSS-00-37 全ディジタル画素時間相関型イメージセンサの試作と評価
土屋恵太，来海 暁，安藤 繁（東 大）