| S2 放電プラズマの最先端応用技術と基礎データ | 2000年3月23日 | 午前 |
1-S2-1- 緒論
○伊藤晴雄（千葉工業大学）
1-S2-2-1- 放電プラズマの最先端応用技術の現状−PDP陰極における二次電子利得γの決定−
○松崎秀臣・本山 靖（NHK放送技術研究所）
1-S2-2-2- 放電プラズマの最先端応用技術の現状−酸化膜エッチング用UHF-ECRプラズマの解析
○数見秀之・前田賢治・川原博宣（日立製作所）
1-S2-2-3- 放電プラズマの最先端技術の現状−エキシマレーザのモデリング−
○酒井洋輔（北海道大学）・明石治朗（防衛大学校）
1-S2-2-4- 放電プラズマの最先端応用技術の現状−キャピラリー管反応器によるVOCの分解−
○河野仁志・田村 穂・本田重夫（朝日工業社）
1-S2-2-5- 放電プラズマの最先端応用技術の現状−容量結合型RF放電の静的絶縁破壊特性−
○佐々木典彦（山形大学）
1-S2-3- 新しいボルツマン方程式解析−ATS理論を中心として−
○近藤敬一（阿南工業高等専門学校）・伊達広行（北海道大学医療技術短期大学）・田頭博昭（室蘭工業大学）
1-S2-4- 二重シャッタードリフトチューブ法による電子輸送係数の測定−ATS解析−
○吉田公策（北見工業大学）
1-S2-5- スオーム法による電子衝突断面積の決定とデータベース構築作業の現状
○中村義春（慶應義塾大学）
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