| S18 産業用光ナノ計測と近接場光技術 | 2000年3月22日 | 午前 |
3-S18-1- 半導体ウエハ表面の微粒子とウエハ内部結晶空洞（COP）の自動検出技術
○秋山伸幸（長岡技術科学大学）
3-S18-2- フラットパネル工程における新しい光計測技術
○北川克一（東レ）
3-S18-3- ハードディスク装置における磁気ヘッド浮上すきま測定技術
○松本真明（日立製作所）
3-S18-4- 延伸プラスチックフィルム用赤外線ゲージ
○木村雅昭・横田 博・重田修作（倉敷紡績）・小足克衛
3-S18-5- 近接場光とは何か
○梅田倫弘・大久保進也（東京農工大学）
3-S18-6- 近接場光による分子センシングとイメージング
○井上康志（大阪大学）
3-S18-7- 近接場光で原子を制御する
○伊藤治彦・大津元一（東京工業大学）
3-S18-8- 近接場光による微小領域光反応
○松田建児・坂田忠文・小西貴久・石田弘毅・辻岡 強・河合 壯・入江正浩（九州大学）
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